HEPA 是高效过滤器的简称,而ULPA是超高效过滤器的简称。这两种过滤器都是会经常的使用到的。那么HEPA和ULPA 过滤器的检漏方法有哪些?
当前对 HEPA 过滤器测试方法主要有:
1、DOP 法。
此法是以光度计作检测,测试用气溶胶必须是单分散 (0.31μm) 的DOP 或其替代的DOS等液态物质所发生的。此法灵敏度不如粒子计数法,只能用于效率 99.99 %(0.3μm)及 99.999 % (0.3μm)的HEPA过滤器的测试。
2、粒子计数法。
此法是以离散粒子计数器(DPC)作为检测仪器,测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质,选择范围较宽,常用多分散气溶胶,如DOP或其替代的DOS等液态物质所发生的,亦常用 SPL(聚苯乙烯乳胶球 )固体物质所发生的 0.1-0.2p,m粒径的气溶胶。此法灵敏度较高,目前主要用于ULPA 过滤器其η≥99.999 %(0.1-0.2μm)的测试,当然亦可用HEPA 过滤器的测试。替代 DOP 法当已是趋势。
3、MPPS法。
此法是欧盟ENl822标准所规定的,亦是以DPC作为检测仪器,测试用气溶胶要求同2。其与粒子计数法的区别主要在于:以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径,HEPA和ULPA 纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低,这是因为在此粒径下扩散机理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用,两者都达到很低,此粒径与过滤器的滤料、给结构及滤速有关,一般在 0.1-0.3μm 间,对ULPA过滤器常为0.1-0.2μm;过滤器测试时,需先测定滤料的MPPS:另外,其对过滤器效率的测试不是采用整体测试,而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理(按95 %置信度)得出整体穿透率及整体效率。更大允许局部穿透率比整体的高 5倍或更多。此法用于HEPA和ULPA过滤器的测试,其灵敏度比一般粒子计数法还高,更接近实际,在测效率的同时亦解决了扫描检漏。
4、钠焰法。
此法采用火焰光度计,它对NaCl燃烧的火焰色度(相当于NaCl的质量)作响应,NaCl质量粒径分布在0.02-2μm间或更狭一些。其质量平均粒径 (MMD) 在 0.5-0.6μm间。此法灵敏度低,且NaCl对微电子工厂的产物质量有害,因此国外早已不用。
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