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洁净室换气系统一般包括送风系统、回风系统、过滤系统、排风系统、温湿度控制系统、监控系统等几个主要部分。下面给大家一一介绍。
1. 送风系统
新风机组（MAU）：承担将室外新鲜空气经由高效过滤器（例如初中高效过滤器）实施多级过滤的任务，除去空气中的尘埃、微粒以及微生物等杂质，而后将洁净的空气输送至洁净室。
送风管道：负责将经过处理的新风输送至洁净室的各个区域。送风管道的设计需考量气流分布的均匀性以及风速的控制，以规避产生涡流和死角。
送风口：设置于洁净室的顶部或侧面，用于将洁净的空气均匀送入室内。送风口的设计需依据洁净室的洁净等级和布局进行合理规划，以确保气流覆盖整个空间。
2. 回风系统
回风口：布置在洁净室的适宜位置，用于收集室内的污浊空气，并将其送回空调系统予以处理。回风口的设计需考虑气流的顺畅性以及避免对人员和设备形成干扰。
回风管道：将回风口收集的空气输送至空调系统的回风段，进行再次处理或排放。
3. 过滤系统
初效过滤器：作为空气净化的第一道防线，主要用于去除空气中的大颗粒物。
中效过滤器：进一步清除空气中的中等大小颗粒物，保护后续的高效过滤器。
高效过滤器（HEPA）：用于去除空气中的微小颗粒物（例如尘埃、细菌、病毒等），确保送入洁净室的空气达到极高的洁净度。
4. 排风系统
排风口：设置在洁净室的特定区域，用于将室内的有害气体、异味或超标的颗粒物排放至室外。排风口的设计需考虑防止室外空气倒灌和交叉污染。
排风管道：将排风口收集的气体输送至室外或相应的处理装置。
5. 温湿度控制系统
温湿度传感器：用于实时监测洁净室内的温度和湿度参数。
温湿度调节装置：如加湿器、除湿机、冷却盘管等，依照传感器反馈的信号调节室内温湿度，使其维持在设定的范围之内。
6. 监控系统
监控系统：用于监测洁净室内的各项参数，涵盖温度、湿度、压力、洁净度等。通过实时监测和数据记录，能够及时察觉并解决洁净室内的异常状况，保证洁净室的正常运行。
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