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洁净室的空气净化流程是有一套流程的，不过也要看采用的是那种净化系统，以下介绍的是常用得到净化系统的净化过程。
- 空气的初效净化：空气最初会穿过初效过滤器，将尺寸较大的尘埃颗粒有效地予以去除。
- 加湿以及加热/冷却：依据洁净室的具体需求状况，为空气实施加湿处理，并且通过加热或者冷却的手段，将其调节至恰当适宜的温度。
- 中效净化：经历过初效过滤的空气会进入中效过滤器，进一步把相对较小的尘埃粒子干净利落地清除掉。
- 高效净化：空气经由高效过滤器（例如 HEPA 滤网），把空气中的微粒子、细菌等污染物彻底消除，从而达到高度洁净度的严格要求。
- 送风与气流分布：完成净化的空气由风机输送进入洁净室，借助管道和高效净化风口均匀平稳地散布至整个房间，构建起稳定有序的气流。
- 回风与循环：洁净室内的空气凭借回风百叶窗等装置回流到空气净化系统，展开循环净化的操作。
以上的这一过程需要持续不断地循环往复，以此切实确保洁净室内的空气始终保持在洁净的良好状态，也就是说只要生产在进行，净化的过程就需要同步进行，否则生产过程中制造的污染物不及时进行净化的话，会导致车间的洁净度下降。
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