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电子洁净车间净化安装内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。
电子车间净化安装内之生产制造设备注意之重点有叁：
1. 生产设备之选择、布置与保养：
a. 要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。
b. 应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
c. 生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。
d. 规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。
e. 真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在安装外面或回风区，并加装排气管线排气。
f. 设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁， 不易积累污染物。
g. 生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。
h. 应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。
i. 当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。
j. 对于施工或维修之厂商，应告知进出电子车间净化安装之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。
k. 应有电子车间净化安装专用工具组，但不得带出电子车间净化安装外使用。
l. 规划空间时若能临近电子车间净化安装设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。
2. 生产设备之防尘措施：
a. 磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。
b. 易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。
c. 在操作时，尽量减少接触零件或产物。
d. 不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。
e. 各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
f. 为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。
3. 自动化与无尘化：
a. 设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。
b. 建立管制项目如进入电子车间净化安装人员的资格限定，电子无尘车间安装作业人员作业规则，电子车间净化安装管理规则等，这些规则已在前面章节叙述，此处不再说明。
在电子车间净化安装之维护管理方面，可分叁部分加以说明：
1. 建筑物之维护管理：
a. 建筑物内定期检查清洁。
b. 地板之清扫管理及损坏更新。
c. 隔间墙及天花板检查清洁和封补。
d. 窗户及门之保养等。
2. 环境测定与管理：
电子车间净化安装内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。
3. 防尘空调设备之维护管理：
a. 温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须做局部测量。
b. 过滤网之管理：定期检查及更换
c. 空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。
d. 送风机之管理：定期检查送风机运转状况。
e. 风管及出风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。
f. 测试及量测仪器管理：定期校正及保养。
g. 室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。
h. 冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔之管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等。
i. 电子车间净化安装停止运转再开机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，须电子车间净化安装恢复稳定正常时再开始作业。
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