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随着微电子、集成电路工业的飞速发展，对的空气洁净度要求越来越高。在设计过程中电气专业对配电设备及灯具的选型及安装方式要考虑空气洁净度的要求，在配电设备及灯具的布置上要与其它专业，尤其是暖通专业密切配合，做到不易积灰、不影响气流流型，保证洁净室的空气洁净度。? ????微电子工业；洁净技术；设计电子生产厂房，洁净车间成为其主要的生产车间。结合某微电子厂房的空调设计，洁净厂房的设计，对洁净区的温度、湿度、洁净度、正压值、运行分别进行分析。
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