为了确保一直保持良好的运行状态,需要定期对洁净室的重要参数进行监测。那么监测的频率是怎样的呢?检测方法有哪些?
洁净室需要进行定期监测的重要参数主要有空气洁净度、温湿度、风速、风量和静压差等数据,可以找第叁方监测机构,也可以自己购买相关的仪器设备进行监测。洁净室的监测频率取决于其洁净度和所处理的物品的敏感度。
一般来说,空气洁净度等级的监测应至少每年监测一次,具体来说,空气洁净度等级小于等于ISO5级的洁净室(区)的认证检测时间间隔zui长6个月,而空气洁净度等级大于ISO5级的洁净室(区)的认证检测时间间隔zui长12个月。也就是说洁净度等级越高,那么监测的频率也要更频繁一些,洁净度等级越低,监测周期可以延长。
而洁净室内的静压差和风量(风速)的监测周期,间隔zui长12个月。
其他洁净室(区)洽商选择的测试要求如过滤器泄漏、气流流型、自净时间、密闭性、照度的zui长检测间隔时间为24个月;温度、相对湿度、噪声的zui长检测间隔时间为12个月。
洁净室的监测方法如下:
检测洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声等,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。
检测洁净室的压力值。
检测层流洁净室断面风速和气流流向。
检测洁净工作区的洁净度。
检测室内温度、湿度及其控制能力的调整测试。
检测洁净室内噪声。
对于安装于送、排风末端的高效过滤器,应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏,扫描法有检漏仪法光度计法和采样量最小为1L/min的粒子计数器法两种。
使用尘埃粒子计数器进行采样和测量,采样点的位置及数量应符合相关规定,如每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值;全部采样点的平均粒子浓度N的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值等。
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