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础级洁净室的恒温恒湿控制有何要求?-清阳工程

2024-06-20 15:27 哺乳溢出羽月希中文字幕


A级洁净室又叫百级洁净室,这种生产车间的恒温恒湿控制要求根据产物的要求不同而有所不同。以下以某些行业进行举例说明。

 

一、温度控制

 

温度范围:A级洁净区的空气温度应为20-24℃。这是为了确保在洁净室内进行的高风险操作能够在稳定的温度环境下进行,避免因温度变化对产物质量造成不良影响。

温度波动:对于某些高精度操作,如大规模集成电路生产的光刻曝光工艺,温度波动范围可能要求更小,以确保产物质量的稳定性和可靠性。

 

二、湿度控制

 

湿度范围:A级洁净区的空气相对湿度应为45%-60%。这个湿度范围有助于保持洁净室内环境的稳定性,避免因湿度过高或过低对产物质量和操作人员舒适度产生不利影响。

湿度控制的重要性:

湿度过高可能导致冷却水管壁上结露,对精密装置或电路造成损害。

湿度过低可能导致静电作用增强,使粒子容易吸附于表面,对产物质量造成潜在威胁。

 

叁、恒温恒湿控制策略

 

精度要求:洁净室的温湿度控制要求精度较高,需要采用先进的温湿度控制系统和传感器来实现。

考虑人的舒适度:在满足工艺要求的前提下,恒温恒湿控制还应考虑到操作人员的舒适度,避免因温湿度不适对工作效率和产物质量产生负面影响。

节能与环保:在选择恒温恒湿控制方案时,应充分考虑节能和环保因素,采用高效、节能的空调系统和控制策略,降低能源消耗和环境污染。

 

总之,A级洁净室的恒温恒湿控制要求严格,需要采用先进的控制系统和策略来实现高精度的温湿度控制,以确保产物质量和操作人员的舒适度。


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