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洁净室是由多个系统所构成的一个复杂的整体结构系统，正因为如此，洁净室的装修施工复杂程度也挺高的。
一、结构装修系统
建筑主体：洁净室的建筑主体通常是在土建框架主体结构内营造的大空间，采用符合要求的装修材料进行分隔和装修。建筑主体需满足不易产生微尘粒子、难附着粒子、吸湿性小等条件，以维持室内环境的洁净度。
天花板系统：
包括吊杆、纲梁、天花板格子梁等。材料选择需考虑易清洁、抗静电等特性。
隔墙板与门窗：隔墙板一般采用优质双面复合夹心洁净室专用材料（如彩钢板），加以玻璃窗隔墙。门窗材料多为铝合金，需满足防腐、防火、易清洁等要求。
地面：地面材料常选用环氧树脂、PVC等，控制指标包括防腐、防火、易清洁、挥发物浓度、抗静电等。
二、暖通系统
空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等，负责提供洁净的室内空气。通风空调系统由空调组合柜、风管、高效送风口和臭氧发生器组成，要求使用洁净空调组、洁净风管等。主要控制指标包括洁净度、温度、湿度、噪音、污染物等。
制冷系统：由冷水机组、水泵、冷水管道组成，为空调系统提供冷源。
叁、电气系统
照明：采用特制的洁净灯，确保光照均匀且不易产生尘埃。
动力与弱电：动力配电、插座等需暗装，减少外露部分以减少积尘。弱电系统（如电话、网络和监控等）也需暗装，并保持整洁。
消防报警：配备消防报警系统，确保在紧急情况下能及时响应。
四、管道系统
生活给水管：提供洁净室内所需的自来水。
排水管：负责排放洁净室内的废水。
其他管道：包括纯水管、压缩空气管、氮气管、蒸汽管等，根据洁净室的具体需求进行配置。管道材料多采用PPR、不锈钢、符合材料和无缝钢管等，确保管道的耐腐蚀性和密封性。
五、其他辅助设施
人员净化设施：包括更衣室、淋浴间等，确保进入洁净室的人员符合洁净要求。
物料净化设施：如传递窗等，用于传递物料时减少污染。
监控与检测设施：配备环境监控系统，实时监测洁净室内的温度、湿度、洁净度等参数。
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