电子洁净车间的空间规划设计
空间管理是把设计概念用于合理地布置厂房里竖向的和横向的公用设备和工艺设备以及管道、风管、电缆桥 架和其它的动力系统。空间管理概念贯穿整个设计和施工建造过程,通过各组成部分的路线和标高引导设计进程。控制施工安装尽量 避免公用设施系统的各组成设备以及服务路线的冲突,为洁净车间合理规划设计提供理论和实践依据。
1 .洁净车间工程项目空间管理概述
整个工程项目分为主建筑厂房和辅助的动力房。各种动力都来自动力房 供给主厂房生产设备使用。管桥连接动力房和主厂房。管桥为各种动力系统的 主管道提供通道。支持区的标高:2层楼板下300inm是消防管道区域,在消防管 道区域下面450mm是二次配管区域,在二次配管区域下面700mm是南 北走向的支管区域。
2 .洁净车间空间规划设计
2.1主厂房和规划设计
FAB包含两个洁净车间,分别在一层支持区和二层的罢贵罢/贵贰区。洁净车间的新风来自新风机房的主新风管,支管从主管上下来送新风到干盘管前面和回风 混合后再送到洁净车间上方,然后空气通过位于洁净车间吊顶上的贵贵鲍高效过滤器 做最终的过滤后进入洁净车间。回风通过干盘管冷却和来自新风机主风管的新 风混合。整个气流组织过程包含这两个洁净车间。
MODULE包含两个洁净车间。一个是一层的封装、灌装、划线、测试和包装区 域,洁净室的新风来自新风机房的主新风管。支风管从主风管下来送新风到循 环风机前面和回风混合后经洁净室吊顶上的HEPA高效过滤器进入洁净室。另 一个是二层MODULE区,洁净室气流组织概念和贵础叠洁净室相似。
2.2动力系统分布规划
动力系统供应主要在FAB洁净室的支持区。每个动力系统包含主路和主支路,在这个洁净车间里,动力系统被分为5个主支路。支路是从主支路到生产设备。主路南北走向位于支持区两边。
2.3洁净车间的排风系统规划
洁净车间的排风集中在支持区的风管内,然后穿过西边的墙到服务建筑的 屋顶的主风管。VOC系统、CVD系统、酸排风系统、碱排风系统的洗涤塔位于服务建筑屋顶。FAB洁净车间的排烟风管位于洁净车间吊顶上方,汇集到主排烟风管后再接到位于服务建筑屋顶的排烟风机。在回风通道里,当排烟风管穿过两个筑及滨水界面提出控制原则,以形成富有滨河特色的城市景观形象
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