电子千级净化无尘车间设计方案
1工程概况
苏州某电子贰笔颁总承包项目中的一个典型净化无尘车间,车间及工艺布局,总面积 1060 m2,净化无尘间净高3.0 m,建筑层高7.0 尘,洁净等级为1000级(@ 0.5 pm),温湿度要求: (21±2) °C, (55±10) %。工艺设备较多,有大量热排风,无工艺冷却水。
2系统计算
2.1工艺设备负荷计算
本工艺设备均为电热设备,散热量
Qs = 1000 nAn2n3n4xN
式中:%为同时使用系数,一般可取0.5?1.0; n2 为利用系数,一般可取0.7-0.9; %为小时平均实 耗功率与设计最大功率之比,一般可取0.5; n,为 通风保温系数,设备无保温有局部通风时一般可取 0.4-0.6,无保温无局部排风时一般可取0.8~1.0。 根据工艺设备要求各设备散热量见表1。
表1工艺设备散热量
设备名称 | 数 量 | 功率 (kW) | "2 | ?3 | 葬4 | 单台 散热量 (kW) | 小计 散热量 (kW) | |
曝光机 | 30 | 4.8 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.6 | 1.2 | 34.6 |
真空干膜机 | 28 | 15.24 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.6 | 3.7 | 102.4 |
高压舱 | 3 | 4 | 1 | 0.8 | 0.5 | 1 | 1.6 | 4.8 |
热压干膜机 | 3 | 2.5 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.6 | 0.6 | 1.8 |
VIGOR | 4 | 1.5 | 1 | 0.8 | 0.5 | 1 | 0.6 | 2.4 |
合计 | 146.0 |
2.2空调冷负荷计算
表2空调冷负荷
房间参数 | 夏季散热量 | |||||||||||
房间名称 | 面积 | 吊顶高度 一 | 房间体积 | 温度 | 相对湿度 | 洁净度 | 人数 | 显 热 | 罢-艺设备发热 | 围护结构传热 | 照明传热 | 总热 量 |
m | 尘, | C | % | kW | kW | kW | kW | kW | ||||
更 | 40 | 3 | 120 | 15-28 | / | / | 0 | 0 | 0 | 1 | 1.4 | 2.4 |
5 | 40 | 3 | 120 | 15 ?28 | / | 8 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1.4 | 2.4 |
黄光区 | 106 0 | 3 | 318 0 | 21 ±2 | 55 + 10 | 6 | 260 | 20.8 | 146 | 26.5 | 37.1 | 230.4 |
3 | 235.2 |
2.3系统送风量计算
表3系统送 | 风量 | |||||||||||
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