芯片万级洁净车间装修工程构成部分和系统解说
无尘室的等级分类各有不同, 在设计施工中可根据实际需要来操作。 清阳净化解析万级无尘室的系统构成。
万级无尘室隔间分为三大部分: 更衣室、 千级区和百级区。 更衣室与千级区, 千级区和百级区均设风淋室(airshower) , 与室外设有物品出入通道传递箱(passbox) 。 当人员进入无尘室时, 首先要经过风淋室, 对人体所带的灰尘吹淋, 减少人员带入无尘室的灰尘, 传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果,风系统、 水系统、 控制系统和其他系统
1、 风系统
系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统.
(1) 全新风空调箱结构
(2) FFU: (FAN FILTER UNIT) 即风机和过滤器千级区过滤器采用 HEPA, 过滤效率99. 997%, , 百级区过滤器采用 ULPA, 过滤效率99. 9995%
2、 水系统
冰水系统分为一次侧和二次侧。
一次侧冰水水温7-12度, 供给空调箱和风机盘管, 二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.
一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路, 之间由板式换热器连接.
板式换热器原理(现场画图) .
干盘管: 不结露的盘管, 因无尘室温度在22度, 其露点温度12度左右, 故7度冰水不能直接进入无尘室, 所以进干盘管的冰水温度在12-14度。
3、 控制系统(DDC)
温度: 干盘管系统控制
湿度: 空调箱调节通过感测的信号, 控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量
正压: 空调箱调节, 根据静压感测的信号, 自动调节空调箱马达变频器的频率, 从而调节进入室内的新风量.
4、 其他系统
不只是空调系统, 无尘室系统中还包括有真空, 空压, 纯水, 废水, 二氧化碳系统, 制程排气系统。
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