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半导体净化厂房高效过滤器的安装

2021-03-31 08:27 哺乳溢出羽月希中文字幕

半导体净化厂房高效过滤器的安装

高效过滤器是空气洁净系统的关键部件， 目前国内采用的滤料为超细玻璃纤维纸和超细石棉纤维纸，用以过滤粗、中效过滤器不能过滤的而且含量最多为1um 以下的亚微米级微粒，保证洁净房间的洁净要求。为保证过滤器的过滤效率和洁净系统的洁净效果，高效过滤器安装必须遵守《及验收规范》或设计图的要求。

1. 安装前的准备工作

为防止高效过滤器受到污染，开箱检查和安装时，必须在空气洁净系统安装完毕，空调器、高效过滤器箱、风管内及洁净房间经过清扫，空调系统各单体设备试运转后及风管内吹出的灰尘量稳定后才能进行。过滤器安装前，要检查过滤器框架或边口端面的平直性， 端面平整度的允许偏差，每只不应大于1mm。如端面平整度超过允许偏差时，只允许修改或调整过滤器安装的框架端面，不允许修改过滤器本身的外框，否则将会损坏过滤器中的滤料或密封部分，降低过滤效果。

2. 安装要求

高效过滤器安装时，应保证气流方向与外框上箭头标志方向一致。用波纹板组装的高效过滤器在竖向安装时，波纹板必须垂直地面，不得反向。高效过滤器与组装高效过滤器的框架，其密封一般采用顶紧法和压紧法两种。对于洁净度要求严格的10级以上洁净系统，有的采用刀架式高效过滤器液槽密封装置。

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